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據(jù)彭博社報道,荷蘭政府計(jì)劃最快下周發(fā)布新的出口管制措施,將限制 ASML 的半導(dǎo)體制造設(shè)備出口。
報道稱,此次出口管制名單新增了 TWINSCAN NXT:2000i、NXT:2050i 及 NXT:2100i 等深紫外光(DUV)浸入式光刻設(shè)備。IT之家注意到,這一系列設(shè)備最高可支持 5 nm 工藝,如臺積電就使用 SAQP 和氬氟浸沒 (ArFi) 光刻實(shí)現(xiàn)了 7 nm 量產(chǎn)。此前,ASML 最先進(jìn)的極紫外光(EUV)光刻機(jī)已在出口管制列表當(dāng)中。
彭博社援引知情人士消息稱,這一出口管制新規(guī)最早將在 6 月 30 日或 7 月第一周公布,有可能成為被其他歐盟成員國效仿的對象,荷蘭政府發(fā)言人對此不予置評。
報道指出,這是荷蘭和日本今年 1 月原則上同意加入美國限制對中國大陸出口先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備的行動以來的最新舉措,荷蘭貿(mào)易部長 Schreinemacher 稱,荷蘭以國家和國際安全考量,有必要盡快限制先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)出口。
ASML 執(zhí)行副總裁兼商務(wù)總監(jiān) Christophe Fouquet 聲稱,幾乎不可能建立全自主的芯片產(chǎn)業(yè)鏈,這樣做的代價是極為高昂和困難的,日本光刻機(jī)制造商佳能和尼康便是前車之鑒。
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